Produktoversigt
Nice-Tech tilbyder to dedikerede siliciumætsningssystemer til forskellige waferstørrelser, både baseret på ICP-teknologi og skræddersyet til IC-masseproduktion.
12-tommer system (SES-12)
Fokuserer på 12-tommer IC-front--processer (FEOL). Sammensat af ICP-ætsningskamre og et overførselsmodul dækker det siliciumætsning, dielektrisk ætsning, gate-ætsning, W-recess og SADP, designet til højpræcisionsmønstre af logik og hukommelsesenheder.
8-tommer system (SES-8)
Et multi-kammersystem til 8-tommers fabs, centreret om gate-processer. Det sikrer mindre end eller lig med 5 % inden for-wafer og wafer-til-wafer ætsningsensartethed, fremragende partikelkontrol og understøtter AA, STI, spacer og W-recess.
Fordele
Bred procesdækning
Vi har to hovedopsætninger her. 12-tommer systemet overtager alle mulige FEOL-processer, intet problem. Hvad angår den 8-tommer? Det er fokuseret på gate og relaterede processer, og det passer perfekt til noder 0,11μm og derover.
Høj præcision og stabilitet
Præcision er, hvor disse systemer skinner. 12-tommers modellen leverer ensartethed og ætseselektivitet i højeste-niveau - præcis hvad avancerede processer kræver. 8-tommer-versionen holder også sin egen: lav ensartethedsafvigelse plus streng partikelkontrol, så du kan regne med ensartede resultater.
Masse-produktion og omkostning-effektivitet
Det bedste af det hele er, at begge er klar til masseproduktion. 12-tommeren er bygget til store-produktionslinjer, hvilket giver mening til store-kørsler. 8-tommeren er dog et smart valg, hvis du opgraderer kapaciteten - den sparer både plads og omkostninger, hvilket altid er et plus for driften.
Anvendelse
IC FEOL Fremstilling
12-tommer system til 12-tommer logik/hukommelse FEOL-processer; 8-tommer system til 8-tommer portætsning.
Avancerede processer
12-tommer system understøtter SADP/W fordybning; 8-tommer system fungerer til STI/spacer processer.
Kapacitetsopgradering
12-tommer integreres i store fabs; 8-tommer giver omkostningseffektiv support til mellemstore fabrikater.
Parametre
|
Kategori |
12-tommer silicium ætsningssystem |
8-tommer silicium ætsningssystem |
|
Wafer-kompatibilitet |
12-tommer (300 mm) IC-wafere, tilpasset til masseproduktionslinjer |
8-tommer IC-wafere; kompatibel med 0,11μm og avanceret teknologi noder |
|
Kammerkonfiguration |
ICP ætsningskamre + overførselsmodul |
ICP ætsningskamre + overførselsmodul; multi-kammerdesign til masseproduktion |
|
Nøgleproceskapaciteter |
Siliciumætsning, dielektrisk ætsning, gateætsning, W-recess, SADP |
Portætsning, AA, STI, spacerætsning, W fordybning |
|
Æts ensartethed |
Overlegen ensartethedskontrol (opfylder avancerede nodepræcisionsstandarder) |
Mindre end eller lig med 5 % inden for-wafer; Mindre end eller lig med 5 % wafer-til-wafer |
|
Partikelkontrol |
Streng partikelkontrol for højt produktudbytte |
Fremragende partikelkontrol til stabil masseproduktion |
|
Industriel overholdelse |
Velegnet til 12-tommer IC-volumenproduktion; er i overensstemmelse med halvledermasseproduktionsstandarder |
Uafhængigt optimeret design; passer til 8-tommers fab plads og omkostningskrav til kapacitetsopgradering |
FAQ
Q: Hvilke waferstørrelser understøtter de to systemer?
Sv: 12-tommer-systemet understøtter 12-tommer (300 mm) IC-wafere, og 8-tommer-systemet understøtter 8-tommer IC-wafere.
Q: Hvilke kerneprocesser dækker de over?
A: 12-tommer systemet dækker siliciumætsning, dielektrisk ætsning, SADP, W-recess osv.; 8-tommer systemet fokuserer på gate ætsning og understøtter STI, spacer ætsning osv.
Sp.: Hvilke teknologiknuder er de kompatible med?
A: 12-tommer systemet tilpasser sig avanceret teknologi noder; 8-tommer systemet er kompatibelt med 0,11μm og derover avancerede noder.
Q: Er begge systemer egnede til masseproduktion?
A: Ja. 12-tommersystemet passer til store-produktionslinjer, mens 8-tommersystemet er pladsbesparende og omkostningseffektivt til masseproduktion.
Q: Hvad er ætsningens ensartethed af 8-tommer systemet?
A: Den har mindre end eller lig med 5 % inden for-waferensartethed og mindre end eller lig med 5 % wafer-til-waferensartethed.
Populære tags: silicium ætsning system, Kina silicium ætsning system producenter, leverandører
