Produktoversigt
Realtidstemperaturmålinger på bestemte wafer-punkter og waferens overordnede temperaturfordeling kan opnås ved at bruge TC Wafer. Derudover kan den bruges til kontinuerligt at overvåge forbigående temperaturændringer gennem termiske processer, herunder opvarmning, afkøling, stabile-state processer og forsinkelsestider (ved at indhente ovntemperaturens ensartethedsdata for at styre udbytte osv.). Mange høje-temperaturprocedurer i halvlederfremstilling kræver nøjagtige temperaturmålingskarakteristika. En TC Wafer med enestående stabilitet og stor målepræcision er derfor afgørende.
Ansøgninger
• Halvlederfabrikationsanlæg (Fabs), siliciumwaferanlæg, waferfabrikationsanlæg
• Pakke- og testanlæg
• Ovn/PVD/CVD/RTP/Foto/Sputtering/Ovn/varmeplade...
• Producenter af halvlederudstyr
• Overvågning af kammertemperatur i høj-procesudstyr
Fordele
• Målenøjagtighed: ±1,1 grad / ±0,4 %
• Driftsmiljø: Normale forhold / Vakuummiljø
• Avancerede softwarefunktioner til -realtidsvisning af temperaturfeltprofiler og varmekurver
• Automatisk lagring af måledata
Parametre
|
TYPE |
TCW-6-5 |
TCS-8-5 |
TCSW-8-9 |
|
Temperaturområde |
RT-1200 grader |
||
|
Wafer størrelse |
6 tommer |
8 tommer |
8 tommer |
|
Testpunkter |
5 |
5 |
9 |
|
Wafer materiale |
Silicium |
Silicium |
Silicium |
|
Temperaturtest præcision |
± 1,1 grad /±0,4 % |
± 1,1 grad /±0,4 % |
± 1,1 grad /±0,4 % |
|
Layout |
|
|
|
FAQ
Hvad er en TC Wafer?
En TC Wafer er et temperaturmåleværktøj, der bruges i halvlederfremstilling. Det kan registrere temperaturen på bestemte steder på en wafer i realtid, såvel som den overordnede temperaturfordeling. Den kan også overvåge forbigående temperaturændringer under opvarmnings- og afkølingsprocesser.
Hvad er de forskellige modeller af TC Wafers, og hvad er deres kerneparameterforskelle?
Der er tre modeller tilgængelige, hvor kerneforskellene er waferstørrelse og antallet af testpunkter: TCW-6-5 (6-tommer, 5 testpunkter), TCS-8-5 (8-tommer, 5 testpunkter) og TCSW-8-9 (8-tommer, 9 testpunkter). Alle modeller har et temperaturområde på stuetemperatur til 1200 grader og en nøjagtighed på ±1,1 grad /±0,4%.
Hvilke scenarier er TC Wafers egnede til?
De er velegnede til halvlederwaferfabrikker, pakke- og testanlæg og fabrikanter af halvlederudstyr. De kan overvåge kavitetstemperaturen i procesudstyr med høj-temperatur, såsom ovnrør, PVD og CVD.
Hvad er dens centrale teknologiske fordele?
Den har høj-præcisionsmåling, understøttelse til brug i rumtemperatur/vakuummiljøer, realtidsvisning af temperaturfelter og varmekurver og automatisk lagring af måledata.
TC Wafer Cooperation Process
Krav bekræftelse:Angiv scenarier/størrelse/testpunkter, bestem kompatibel model
Løsningstilbud:Løsning + tilbud indenfor 3 dage
Kontraktbetaling:Underskriv kontrakt og betal forudbetaling, start med at forberede varer
Levering og accept: Standard 5-7 dage / Tilpasset 10-12 dage til klargøring og levering af varer, endelig betaling ved accept inden for 3 dage (retur og ombytning er mulig for defekte varer)
Efter-salgsservice:1-års garanti + 24/7 konsultation, langsigtede kunder nyder godt af rabatter/inspektioner
Populære tags: tc wafer, Kina tc wafer producenter, leverandører
