Teknisk princip
Det optiske 3D-profilometer anvender hovedsageligt to optiske teknologier:
1. Interferensteknologi for hvidt lys: Ved at analysere faseændringerne af interferenskanter og beregne overfladehøjdeforskellen har den en sub nanometer langsgående opløsning.
2. Konfokal teknologi: ved at bruge princippet om konjugeret fokus af objektivlinsen når fokuseringsnøjagtigheden 2nm, velegnet til måling af overflader med høj hældning.
Ansøgningsfelt
1. Præcisionsfremstilling: Fejlanalyse af halvlederchips, karakterisering af MEMS-enheder.
2. Materialeforskning: Korrosionsdetektion af metaller/plast, måling af optisk filmreflektivitet.
3. Industriel test: Slidanalyse af bilkomponenter, planhedsvurdering af flykomponenter.
