Det tre-dimensionelle optiske profilometer opnår præcisionsmåling på mikrometer til nanometerniveau gennem interferens med hvidt lys eller konfokal teknologi og analyserer den tre-dimensionelle morfologi, ruhed og kontur af solide materialeoverflader. Dette instrument har ikke-kontaktmåleegenskaber, hvilket undgår beskadigelse af den målte overflade og er velegnet til forskellige materialer såsom transparent/metal/højreflektion. Inden for mekanisk fremstilling, halvledere, rumfart osv., er 3D optiske profilometre meget brugt i kvalitetskontrol, procesovervågning og produktudvikling.
I 2025 vil mainstream-modeller som ZeGage Pro og SuperViewW1 have både seismisk ydeevne og automatiserede målefunktioner med en målenøjagtighed på over 0,1 nm niveau. Instrumentets funktioner omfatter mikromorfologianalyse, krumningsberegning og tyndfilmskarakteristikdetektion, som overholder ISO 25178-standarden og er blevet det centrale detektionsudstyr til moderne præcisionsfremstilling
