En wafer refererer til en siliciumchip, der bruges til fremstilling af siliciumhalvlederkredsløb, og dens råmateriale er silicium. Efter opløsning af polykrystallinsk silicium med høj-renhed tilsættes siliciumkrystalfrø og trækkes langsomt ud for at danne cylindrisk monokrystallinsk silicium. Efter slibning, polering og udskæring danner siliciumkrystalstænger siliciumwafers, også kendt som wafers. Indenlandske wafer-produktionslinjer er hovedsageligt 8-tommer og 12 tommer.
De vigtigste forarbejdningsmetoder for wafers er wafer-behandling og batch-behandling, hvilket betyder at behandle en eller flere wafere samtidigt. Med den faldende størrelse af halvlederfunktioner og fremskridtene inden for behandlings- og måleudstyr er der opstået nye datakarakteristika i waferbehandling. Samtidig øger reduktionen i egenskabsstørrelse virkningen af antallet af partikler i luften på kvaliteten og pålideligheden af den behandlede wafer under waferbehandling. Med forbedringen af renligheden er der også opstået nye datakarakteristika i antallet af partikler.
