Tjener primært følgende brancher:
1. Fremstilling af halvledere: opdagelse af waferoverfladedefekter
2. Optiske materialer: Analyse af linsekurvatur og overfladeforms nøjagtighed
3. Biomedicinsk: Observation af mikrostruktur af biochips
4. Industriel test: Kvalitetsvurdering af metaloverfladebehandling
